發(fā)布時(shí)間： 2021-12-20 點(diǎn)擊次數(shù)： 559次
一體化振動(dòng)溫度傳感器是指通過集成振動(dòng)傳感芯片和溫度傳感器芯片，按應(yīng)用需求進(jìn)行封裝和信號(hào)輸出的一種復(fù)合型傳感器變送器。
基于傳感器測量時(shí)輸入單一靈敏度，用于描述在一定的頻響范圍內(nèi)，傳感器的靈敏度是否滿足實(shí)際的靈敏度的指標(biāo)就是線性度。相對(duì)來看，在低頻段，傳感器的靈敏度會(huì)少于實(shí)際的靈敏度，而在高頻段，則靈敏度會(huì)大于實(shí)際的靈敏度。只有在中間頻段，靈敏度滿足線性關(guān)系。如果傳感器不在線性區(qū)間，所以測量得到的幅值會(huì)誤差較大，一般來說要求傳感器非線性<1%。
在測量某個(gè)方向的振動(dòng)時(shí)，理論上信號(hào)輸出應(yīng)為振動(dòng)感知方向，但實(shí)際上在與該方向垂直的方向也有信號(hào)輸出，從而形成了一種干擾，這種效應(yīng)稱為橫向效應(yīng)。橫向效應(yīng)靈敏度越低，傳感器性能越好，但通常，一體化振動(dòng)溫度傳感器都存在一定的橫向效應(yīng)，國標(biāo)的要求是橫向靈敏度應(yīng)<5%。
由于傳感器自身也屬于一種結(jié)構(gòu)，所以也有它的固有頻率。一般把傳感器的第壹階固有頻率叫做諧振頻率。傳感器的結(jié)構(gòu)尺寸越小，諧振頻率越高。振動(dòng)傳感器的使用上限頻率取決于幅頻曲線中的諧振頻率。一般要求＞20kHz。
一體化振動(dòng)溫度傳感器關(guān)鍵測試點(diǎn)：
1、線性度；
2、橫向靈敏度；
3、諧振頻率；
4、頻響特性；
5、溫度測量精度；
6、溫度測量響應(yīng)時(shí)間。
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